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電容壓力傳感器結(jié)構(gòu)原理圖
電容式差壓壓力傳感器的核心部分如上圖所示，將左右對稱的不銹鋼基座3和3的外側(cè)加工成環(huán)狀波紋溝槽，并焊接上波紋隔離膜片1和4.基座內(nèi)側(cè)有玻璃層5，基座和玻璃層中央都有孔。玻璃層內(nèi)表面磨成凹球面，球面除邊緣部分外鍍以金屬膜6，此金屬膜層有導(dǎo)線通往外部，為電容的左右定級板。左右對稱的上述結(jié)構(gòu)中央夾入并焊接彈性膜片，即測量膜片7，為電容的中央動機板。測量膜片左右空間被分隔成兩個室，故有兩室結(jié)構(gòu)之稱，國外也有一室結(jié)構(gòu)的傳感器，其左右兩室有管道想通。 在測量膜片左右兩室中充滿硅油，當(dāng)左右隔離膜片分別承受高壓ph和低壓pl時，硅油的不可壓縮性和流動性便能將差壓△P=PH-PL傳遞到測量膜片的左右面上。因為測量膜片在焊接前加有預(yù)張力，所以當(dāng)常壓△P=0時十分平整，使得定極板左右兩電容的容量完全相等，即CH=CL，電容量的差值為零。在有差壓作用是，膜片發(fā)生變形，也就是動極板向低壓側(cè)定極板靠近，同事遠離高壓定極板，使得CL＞CH?？梢?，這就是差動電容形式的壓力或差壓傳感器。
采用差動電容法的好處是，靈敏度高，可改善線性，并可減少由于介電常數(shù)ε受溫度影響引起的不穩(wěn)定性，這才是羅斯蒙特變送器一直穩(wěn)定運行的原因。
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